Для цитирования:

Прокопьев А.Р., Неустроев Е.П. Наноструктурированные углеродные пленки, полученные методом осаждения в плазме СН4 с последующей термообработкой: структурные особенности, их влияние на электрические и оптоэлектронные свойства. Природные ресурсы Арктики и Субарктики. 2023;28(3):487-494. https://doi.org/10.31242/2618-9712-2023-28-3-487-494

For citation:

Prokopev A.R., Neustroev E.P. Nanostructured carbon films obtained by CH4 plasma deposition and annealing at high temperature: structural features and their effects on electrical and optoelectronic properties. Arctic and Subarctic Natural Resources. 2023;28(3):487-494. (In Russ.) https://doi.org/10.31242/2618-9712-2023-28-3-487-494